旋片真空泵的工作原理详解
时间:2026-05-30 15:24:45 点击次数:
正文:旋片真空泵是中低真空领域应用最广泛的核心泵型之一,主要分为油封式与干式两大类。根据目标真空度的不同,可选用单级或双级结构,其中双级旋片泵在实际应用中更为常见。
旋片真空泵的工作原理如下:该泵的核心组件包括定子、转子、旋片、定盖和弹簧等。其运作方式基于偏心安装于定子腔内的转子,以及可在转子槽内滑动、并通过弹簧张力与离心力作用始终紧贴定子内壁的两片旋片。当转子旋转时,旋片持续沿定子内壁滑动,形成动态密封。
这两个旋片将转子、定子内腔及定盖共同围成的月牙形空间划分为A、B、C三个独立区域。以图示转子旋转方向为例,与吸气口相连的A区域容积逐渐增大,导致该区域内部压强持续降低。当A区的压强低于被抽容器内压强时,根据气体压强平衡原理,被抽气体被持续吸入吸气腔A,此阶段即为吸气过程。与此同时,B区域的容积逐步减小,气体压强随之升高,该阶段对应压缩过程。通过这种周期性容积变化,旋片真空泵实现了高效的气体吸入与压缩。