正文：与常见的气体传输泵不同，低温泵在气体捕集过程中会逐渐达到饱和状态，因此必须释放所吸附的气体以恢复其捕集能力，这一过程被称为再生。
低温真空泵的再生可分为部分再生（仅释放二级冷板吸附的气体）和完全再生（释放所有冷板吸附的气体）。本文重点探讨低温泵完全再生的几种典型方式。

一、自然升温法。关闭制冷机后，依靠泵壁的余热使真空泵缓慢升温。当泵内压力升至对流换热起效水平时，升温速率加快，最终达到稳定的温度值。
二、放气升温法。关闭制冷机后，打开放气阀引入清洁干燥的空气，促使低温真空泵冷板快速升温。
三、电加热法。在低温真空泵的一、二级冷板上安装电加热器，再生时通过电加热使低温板迅速升温，从而缩短再生时间。

在上述再生方式中，自然升温法适用于抽除少量气体且无需连续长期排气的真空系统，通常需要5至6小时。而在需要快速再生的应用场景中，则需采用后两种方法。

低温真空泵在再生过程中，必须及时抽除释放出的气体，以防对泵体或真空计玻璃管管壳造成损坏，甚至引发爆炸。原因是当温度升至一定水平时，永久性气体的解吸速度极快，可能在数分钟内使泵内压力升至一个大气压以上。