本系列干式真空泵特别适用于真空行业和电子行业使用,它可以和罗茨真空泵和分子泵组成无油真空机组和无油高真空机组,用于要求清洁抽除空气的环境。
典型应用:
无油中高真空系统、真空干燥、真空冻干、真空烧结、特气生产、刻蚀机、单晶炉、液晶生产、真空冶炼、化学气相沉淀、物理气相沉积。
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